上海切纸刀定制高精度化直线电机刚开始开发时，因其能实现高速加工而备受瞩目。但近年来，使用直线电机的目的已逐渐转向高精度化。也就是说，在直线电机的诸多优良特性中，很高的定位精度和圆弧插补精度尤其令人刮目相看。其原因是非接触式的驱动系统没有传统伺服电机旋转减速用的齿轮副、滚珠丝杠、耦合件等各种机械因素引起的误差，以及直线电机必然采用闭路控制。今后，高精度化加工技术的发展将日益加速。在精密加工中，**重要的加工之一是高精密平面的加工。尤其是在精密测量仪器、光学仪器、硅片等超精密加工领域，要求加工出无限平滑的表面。为此，机床制造商开发出了超精密平面磨床，在采用独立的可变静压滑板技术实现高刚性加工的同时，又实现了即使存在偏载荷，油膜厚度也不会发生变化（工作台不发生倾斜），磨削平面度达到lμm/m2。此外，加工表面通过抛光可以实现0.03μm/m2的平面度。为了实现高精度加工，就必须克服热变形。具体来说，需要尽可能减少来自驱动电机和轴承、导向面等的加工发热。此外，为了不使加工中的工件发生热变形，还需要控制在加工点产生的热量和来自工件表面的汽化热。为此，该超精密平面磨床配置了既恒温又恒湿的隔离罩，作
